基本信息：
中文名稱 甲基三乙氧基硅烷
中文別名 三乙氧基甲基硅烷;甲基三乙氧基矽烷;
英文名稱 Methyltriethoxysilane
英文別名 CM9050;Silquest A;ici-ep5850;monomethyl triethoxy silane;Triethoxy(methyl)silane;A 162;Dynasylan MTES;ND-27;HD-120;MTES;Triethoxymethylsilane;
CAS號(hào) 2031-67-6
合成路線：
1.通過(guò)原甲酸三乙酯合成甲基三乙氧基硅烷，收率約88%；
2.通過(guò)硅酸四乙酯合成甲基三乙氧基硅烷
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